成膜や薄膜、蒸着、スパッタのＦＡＱ

成膜や薄膜、蒸着、スパッタ等に関するＱ&Ａ集をまとめてみました。加工技術の一つである「成膜」。このページでは薄膜を製造するための様々な手法の特徴や基礎的な事柄をその周辺知識も含めて少しずつまとめていきます。

成膜に関するＱ&Ａ

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

• Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
• CeO2（酸化セリウム）
• Cr2O3（酸化クロム）
• Ga2O3（酸化ガリウム）
• HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
• NiO（酸化ニッケル）
• MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）　
• I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
• Nb2O5（五酸化ニオブ）
• Ta2O5（五酸化タンタル）
• Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
• WO3（酸化タングステン）
• TiO（一酸化チタン）
• Ti3O5（五酸化チタン）
• TiO2（二酸化チタン、チタニア）
• ZnO（酸化亜鉛）
• ZrO2+TiO2（複合酸化物）
• ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）

フッ化物の薄膜

• AlF3（フッ化アルミニウム）
• CaF2（フッ化カルシウム）
• CeF3（フッ化セリウム）
• LaF3（フッ化ランタン）
• LiF（フッ化リチウム）
• NaF（フッ化ナトリウム）
• MgF2（フッ化マグネシウム）
• NdF3（フッ化ネオジウム）
• SmF3（フッ化サマリウム）
• YbF3（フッ化イッテルビウム）
• YF3（フッ化イットリウム）
• GdF3（フッ化ガドリニウム）

窒化膜

• TiN（窒化チタン）
• CrN（窒化クロム）
• TiCN（炭窒化チタン）
• TiAlN（窒化チタンアルミ）
• BN（窒化ホウ素）
• AlN（窒化アルミニウム）
• CN（窒化炭素）
• BCN（窒化ホウ素炭素）

炭化膜

• DLC（ダイヤモンドライクカーボン）
• TiC（炭化チタン）
• SiC（炭化ケイ素）
• BC（炭化ホウ素）
• WC（炭化タングステン）

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