クリーンルームのクラス10の基準

クリーンルームのクラス10とは、米国連邦規格であるFed-std209E（Federal standard 209E）に規定のある清浄度を表すレベルのひとつです。

クリーンルームの規格は一定の空間（容積）の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個あるかどうかという基準が示されていますが、このクラス10では下表の通り、1ft³の中に0.5μm径の粒子が10個存在するという非常に厳しいレベルの清浄度を示すクラスです。SI単位ではM2.5に相当します。

【単位換算参考】1 m³ ＝ 35.31 ft³

クリーンルームのクラス10基準（米国連邦規格FED.STD209E）

クラス名称		各クラスの微粒子の存在許容限界
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		体積単位		体積単位		体積単位		体積単位		体積単位
SI単位	クラス名称	（m3）	（ft3）	（m3）	（ft3）	（m3）	（ft3）	（m3）	（ft3）	（m3）	（ft3）
M2.5	クラス10	12400	350	2650	75.0	1060	30.0	353	10.0	-	-

なお、この米国連邦規格によるクラス10は、JIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス４に相当します。

クリーンルームのクラス基準（JIS B 9920規定の清浄度クラス）

清浄度クラス	微粒子の上限濃度（個/m3）
	測定粒子径
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
クラス4	10000	2370	1020	352	83	-

>「クリーンルームのクラス10の基準」の先頭へ