クリーンルームのクラス100の基準
クリーンルームのクラス100とは、米国連邦規格であるFed-std209E（Federal standard 209E）から来ている基準のことを指しています。
クリーンルームの規格は一定の空間（容積）の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個あるかどうかという基準で清浄度の「クラス」を定めています。
微粒子（パーティクル）の数が少なければ少ないほど、より高いレベルのクリーンルームということが言えます。
クラス100の100という数字は、1ft3の中に0.5μm径の粒子が100個存在していることからとられたものです。
【単位換算参考】1 m3 ＝ 35.31 ft3
| クラス名称 | 各クラスの微粒子の存在許容限界 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
| 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | |||||||
| SI単位 | クラス名称 | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） |
| M3.5 | クラス100 | - | - | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | - | - |
なお、現在国内で運用されているJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス５に相当します。
| 清浄度クラス | 微粒子の上限濃度（個/m3） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定粒子径 | ||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| クラス5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
