ZnO（酸化亜鉛）の特性
ZnOはITOと同様に透明導電膜にするための研究が進んでおり、一部実用化されています。通常はZnOに何かを添加することで透過率や導電率を高めることができます。
| 屈折率 | 2.1（550 nm近辺） |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.4μｍ ～20 |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム）、RH（抵抗加熱） |
| 蒸発源材料 | - |
| 蒸発タイプ | - |
| 膜質 | 結晶質、軟らかい |
| 応力 | |
| 主な用途 | 半導体センサ、透明導電膜 |
| 理論密度 | 5.47g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 1975℃ |
| 沸点 | 1100℃昇華 ※１ |
| 性質 | 水溶性：難溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：可溶 |
| 結晶構造 | 六方晶系、ZnO型 ※２ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | - |
| 誘電率、比誘電率εγ | - |
| 熱膨張係数 | - |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | - |
| 比熱(cal/℃/mole) | - |
| 外観 | 淡黄色 |
| CAS-NO | 1314-23-4 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅰ-360］
- ※２：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-839］
専門誌等で発表されているZnOの薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | |
|---|---|
| タイトル | |
| 著者 | |
| 概要 |
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