ZrO2+TiO2（複合材料）の特性
ZrO2の代表的な反射防止膜に使われる材料ですが、単体では不均質の問題があり、これを解消するためにTiO2などの他の物質と混合したものがこの蒸着材料です。
| 屈折率 | |
|---|---|
| 使用波長域 | |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム） |
| 蒸発源材料 | |
| 蒸発タイプ | |
| 膜質 | |
| 応力 | |
| 主な用途 |
| 理論密度 | |
|---|---|
| 融点 | |
| 沸点 | |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：難溶 |
| 結晶構造 | |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | |
| 誘電率、比誘電率εγ | |
| 熱膨張係数 | |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | |
| 比熱(cal/℃/mole) | |
| 外観 | |
| CAS-NO | |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
専門誌等で発表されているZrO2+TiO2（複合材料）の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | |
|---|---|
| タイトル | |
| 著者 | |
| 概要 |
薄膜の材料特性
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
