Ti3O5（五酸化チタン）の特性
Ti3O5はTiO2薄膜の成膜のための出発材料の候補です。他のチタン系の材料に比べて、比較的速くTiO2膜をつくることができると言われています。
| 屈折率 | |
|---|---|
| 使用波長域 | |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム） |
| 蒸発源材料 | |
| 蒸発タイプ | |
| 膜質 | |
| 応力 | |
| 主な用途 |
| 理論密度 | |
|---|---|
| 融点 | |
| 沸点 | |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：希硫酸・希塩酸に可溶 |
| 結晶構造 | |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | 6x10^-3(半導体相) 温度 500(T/K), 10x10^-2(半導体相） 温度 400(T/K)；転移温度 T(trs) /K 450 ※１ |
| 誘電率、比誘電率εγ | |
| 熱膨張係数 | |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | |
| 比熱(cal/℃/mole) | |
| 外観 | 赤茶色、黒灰色 |
| CAS-NO | 12065-65-5 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-613］
専門誌等で発表されているTi3O5の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | |
|---|---|
| タイトル | |
| 著者 | |
| 概要 |
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