CeF3（フッ化セリウム）の特性
| 屈折率 | 1.63（550 nm近辺） |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.3 ～ 5μｍ |
| 蒸発方法 | 抵抗加熱 |
| 蒸発源材料 | タングステン、モリブデン、タンタル |
| 蒸発タイプ | 昇華 |
| 膜質 | 結晶質、硬い |
| 応力 | 強い引っ張り |
| 主な用途 | 多層膜、反射防止膜 |
| 理論密度 | 5.8g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 1324℃ |
| 沸点 | 1360℃ |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶 |
| 結晶構造 | 三方晶系 LaF3型 六方晶とする報告もある ※１ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | - |
| 誘電率、比誘電率εγ | - |
| 熱膨張係数 | - |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | - |
| 比熱(cal/℃/mole) | 22.65 T(℃）127°※２ |
| 外観 | 白色 |
| CAS-NO | 7758-88-5 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-836］
- ※２：生産現場における光学薄膜の設計・作製・評価技術 監修/小倉繁太郎 技術情報協会 2001年1月22日 第7章第11節『紫外線波長用フィルター』p266-267 小倉繁太郎
専門誌等で発表されているCeF3の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | |
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| タイトル | |
| 著者 | |
| 概要 |
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