フッ化物の融点の一覧
フッ化物は、紫外域や赤外域などで特性を発揮するものや薄膜の材料としては低融点のものが多く見られます。あまり膜の頑丈さには優れていないものもあるため、一般的に使われていない材料を検討する際には精査が必要です。
| 物質名 | 融点 |
|---|---|
| LiF（フッ化リチウム） | 842℃ |
| NaF（フッ化ナトリウム） | 988℃ |
| AlF3（フッ化アルミニウム） | 1040℃ |
| YF3（フッ化イットリウム） | 1152℃ |
| YbF3（フッ化イッテルビウム） | 1157℃ |
| GdF3（フッ化ガドリニウム） | 1231℃ |
| MgF2（フッ化マグネシウム） | 1248℃ |
| SmF3（フッ化サマリウム） | 1306℃ |
| CeF3（フッ化セリウム） | 1324℃ |
| NdF3（フッ化ネオジウム） | 1374℃ |
| CaF2（フッ化カルシウム） | 1418℃ |
| LaF3（フッ化ランタン） | 1490℃ |
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
