透明導電膜とは
光の関わる製品の多くは、光を透過、反射、分離、吸収させる機能を担う部品を内部に持ちますが、電気を通す必要があり、透明である必要がある際には、透明でかつ電気を通す性質を持つ薄膜が求められます。酸化物やフッ化物などのセラミックス材料を用いた誘電膜の多くは、特定の光を分離したり、透過、反射、吸収させたりすることが出来るため、材料ごとに異なる特性が活用されていますが、そのほとんどが透明です（若干の色味があるものもあります）。ただ、こうした材料の多くは導電性の高いものは稀で、金属膜となると、どんなに薄くしても光の透過率には限度があります。
そこで使われるのがこの透明導電膜で、酸化インジウムと酸化錫の混合物であるITO（アイーティーオー）と呼ばれる材料から薄膜が作られます。一般にはナノ単位の薄さの膜で、目で見ることは出来ませんが、タッチパネルなどではお馴染みの存在かと思います。
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
