ターボ分子ポンプ
高真空ポンプに分類され、動翼と固定翼で構成された分子ポンプです。基本原理は、この動翼が高速回転されることで、気体を排気していきます。この回転数は、14000rpm〜90000rpmという高速になりますが、この回転数の実現は大気中では困難であり、あらびきポンプによる事前排気により、一定レベルまで真空度を高めておいてやる必要があります。
ポンプ口径に対して排気速度は他のポンプよりも小さいですが、油を使わず、クリーンな真空が得られます。排気速度が一定であり、ガスを流しながらの成膜とは相性が良いポンプです。
クライオポンプのような再生工程も不要です。
