高真空ポンプ
拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ、スパッタイオンポンプなどがあります。成膜、特に蒸着には必須の真空ポンプで、あらびき工程が終わってある程度、真空度が高くなってから仕上げに導入するポンプです。これらに分類されるポンプは大気圧などの環境下では使うことができませんので、必ずあらびき工程に相当する真空ポンプと組み合わせて使われます。
成膜の場合、これらは実際の成膜工程中にも作動し続け、真空度を維持しようとつとめます。より直接的に薄膜の品質に影響するといわれるポンプです。予算や成膜装置の種類、製作しようとしている薄膜のレベルや特性に応じて最適なものを選んでいく必要があります。
