ルーツポンプ
真空排気のうち、あらびき工程に用いる真空ポンプの一種です。ただこのポンプは、大気圧レベルの状態からは使うことが出来ないため、あらかじめ1000Pa程度まで大気圧を下げる必要があります。このため、大気圧から使用できる代表的なあらびきポンプである油回転ポンプと組み合わせて使われることが多いです。両者を組み合わせ、ルーツポンプをブースタポンプとして使うことであらびき真空排気における時間を短縮することも可能です。高真空を作り出すことはできません。
作動圧力の範囲としては、103から10-1Pa程度となります。
