油回転ポンプ
あらびき用途の真空ポンプの一つで、成膜装置にも良く使われています。名前が示すとおり、「油」をシールとして使い、空気が逆流しないような構造をしています。構造としては、揺動ピストン、回転翼式、カム型などがあり、油でシールされた空気を排出していくことで、真空度を上げていきます。
ただ問題点としては、わずかな不純物でも影響する高真空が要求される成膜では、油が少しでも逆流すると品質に影響を与えることがあります。このため、用途によって、あらびき工程では油回転ポンプをあえて使わないこともあります。
作動圧力の範囲としては、通常大気圧である105から10-1Pa程度となります。
