光学特性のnやkを調べる

薄膜の特性は、同じ材料であってもバルクとは異なることが大半で、特に光学特性は実際に薄膜にして分析してみないと実用的なデータを得ることは困難です。

実際に成膜をしたり、受託成膜サービスなどを利用してデータを取ることができればそれに越したことはありませんが、候補材料の数が多いとすべての材料を試すのは難しくなります。

また薄膜にする際の成膜手法にも特性は影響を受けるため、一つの材料についても複数の成膜をせねばならないことになり、あまり現実的な話ではなくなってきます。

そこで前段階の準備としては、文献やデータベースを活用した調査が必要となります。

薄膜の特性について考察した論文の多くは、英語で発表されている海外のものが大半ですが、理論的な考察を行ったものだけでなく、「こういう条件で薄膜を成膜したらこういう結果となった、その理由はこうである」といったタイプの研究も多く、初学者でも調査を行うのは容易です。

光学特性を調べるためのデータベース、文献

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

• Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
• CeO2（酸化セリウム）
• Cr2O3（酸化クロム）
• Ga2O3（酸化ガリウム）
• HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
• NiO（酸化ニッケル）
• MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）　
• I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
• Nb2O5（五酸化ニオブ）
• Ta2O5（五酸化タンタル）
• Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
• WO3（酸化タングステン）
• TiO（一酸化チタン）
• Ti3O5（五酸化チタン）
• TiO2（二酸化チタン、チタニア）
• ZnO（酸化亜鉛）
• ZrO2+TiO2（複合酸化物）
• ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）

フッ化物の薄膜

• AlF3（フッ化アルミニウム）
• CaF2（フッ化カルシウム）
• CeF3（フッ化セリウム）
• LaF3（フッ化ランタン）
• LiF（フッ化リチウム）
• NaF（フッ化ナトリウム）
• MgF2（フッ化マグネシウム）
• NdF3（フッ化ネオジウム）
• SmF3（フッ化サマリウム）
• YbF3（フッ化イッテルビウム）
• YF3（フッ化イットリウム）
• GdF3（フッ化ガドリニウム）

窒化膜

• TiN（窒化チタン）
• CrN（窒化クロム）
• TiCN（炭窒化チタン）
• TiAlN（窒化チタンアルミ）
• BN（窒化ホウ素）
• AlN（窒化アルミニウム）
• CN（窒化炭素）
• BCN（窒化ホウ素炭素）

炭化膜

• DLC（ダイヤモンドライクカーボン）
• TiC（炭化チタン）
• SiC（炭化ケイ素）
• BC（炭化ホウ素）
• WC（炭化タングステン）

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