遊離砥粒

2010年6月26日更新

液体研磨剤のことで、ラッピングのスラリーとして使われるタイプの研磨剤です。砥石が総じて「固定砥粒」と言われる固形物なのに対し、遊離砥粒は、砥粒こそ固形ですが、それを保持するボンドはありません。水や油のほか、特殊な溶剤に混ぜて使われます。研磨盤状に流し、フェルトバフ等を使って磨きこむのにも使われます。研磨の際に起きる現象が通常の砥石とは異なる部分もあり、主としてポリッシング、ラッピング仕上げ用の研磨などに使われます。なかには直径がナノ単位となる遊離砥粒もあり、半導体業界をはじめ、さまざまな産業で応用されています。ルーズアブレーシブとも言われます。研磨の際に、加工対象の表面で起きる現象が固定砥粒の場合と異なることが知られてします。加工方法や狙いとなる仕上げの度合いなどによって両者は使い分けられています。